MSD系列溅射电源

MSD系列直流溅射电源采用公司最核心的直流控制系统结合优异的弧光处理方案，从而使产品具有非常稳定的性能，产品可靠性高，电弧损伤小，工艺重复性好。采用中英文显示界面，操作简便。

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产品编号

产品系列:

MSD系列

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库存:

所属分类

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产品描述

参数

型号定义

主要参数

● 机架式安装方式

● 快速的电弧响应，响应时间＜100ns

● 底能量储存，＜1mJ/kW

● 紧凑的安装结构，3U标准机箱

● 中/英文显示界面，操作便捷

● 精密的控制

● 宽范围的输出

● 完善保护功能

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销售热线：0838-2900585 2900586
售后热线：0838-2900488 0838-2900938
公司总机：0838-6930000
公司传真：0838-2900985
电子邮箱：injet@injet.cn
公司地址：四川省德阳市金沙江西路686号

输入	输入电压：3ΦAC380V±10%
输入	功率等级：20kW、30 kW 输入电源频率：50Hz/60Hz
输出	最大输出电压：800V
	最大输出电流：50A、75A
	输出电流纹波：≤3% rms
	输出电压纹波：≤2% rms
技术指标	点火电压：1000V/1200V可选
	转换效率：95%
	电弧关断时间：＜100ns
	通讯接口：标配RS485/RS232(可选配Profibus、ProfiNet、DeviceNET、EtherCAT)
	尺寸（HWD）mm：132482560：176482700
	冷却方式：风冷
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。